| 業主單位：昆山某特威集成電路有限公司 | 地區:江蘇蘇州 | 行業：半導體 |
| 施工面積：400平 | 年份：2023 | 潔凈級別：十級 |
| 施工周期：35天 | 施工進度：結束 |
昆山十級半導體芯片無塵車間部分圖片展示
半導體的生產為什么需要潔凈無塵車間呢？
由于半導體工業所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源（包括塵埃、金屬離子、各類有機物等），因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。
實際生產中，會對潔凈室產生影響的主要因素有溫度、濕度、噪音、壓差、靜電、振動等。
溫濕度：一般半導體無塵車間的溫度應控制在23±1℃，濕度應控制在45±3%rh。不合適的溫濕度都會導致半導體產品的生產質量不達標。
噪聲：煩惱效應，語言通訊干擾，影響工作效率，低頻噪聲影響設備。
壓力：正壓與負壓是相對而言，一個潔凈室對大氣而言是正壓潔凈室，但對另外一個房間而言可能是負壓潔凈室。不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的壓差不小于5Pa，潔凈區與室外的壓差不小于10Pa。
靜電：地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩定，采用靜電耗散性材料，表面電阻率1◊105Ω- 1◊1012Ω，地面應設有導電泄放措施和接地構造，流動液體，氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。
振動：精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。振動尤其對光刻設備影響巨大。
對于半導體凈化車間來說，一般將半導體生產區的潔凈度等級設定為1000級，黃光區的潔凈度等級一般為100級，Mask光罩區的潔凈等級設為10級。一般通過服裝，MAU，FFU及入口的風淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產生，打造符合半導體產品生產需要的潔凈環境。
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