地面材料選擇：地面應選用防靜電材料，如環氧樹脂自流平地坪或PVC地坪，以避免靜電對半導體生產的影響。這些材料應具有防滑、耐腐蝕、易清潔等特點。
墻面和天花板施工：墻面和天花板材料同樣需要防靜電，并具備防塵、防水、易清潔等特性，如彩鋼板、不銹鋼板、鋁合金板或PVC板。墻面的施工要確保平整度、垂直度和潔凈度，門窗、管道等設備的安裝也需特別注意。
凈化系統設計：空氣凈化系統、送風系統等是無塵車間的核心部分，其設計、安裝和調試需符合相關標準和規范，如ISO 14644系列標準。過濾器、空氣凈化器等設備應選用高效、可靠的產品，確保車間內的空氣潔凈度達到要求。
溫度與濕度控制：無塵車間需要保持穩定的溫度和濕度，以保證半導體生產的穩定性。溫度控制系統應具有高精度、高穩定性等特點。
電氣設備安裝：電氣設備應按照設計圖紙進行安裝，確保其位置、大小和數量等參數符合設計要求。電纜橋架和電線管路應排列整齊，避免交叉和混亂。電氣設備的外殼應接地，以確保使用安全。
消防與安全系統：無塵車間必須配備消防系統，包括火災報警器、滅火器和噴淋系統等，以確保車間內的安全。此外，還應設置合適的人員進出口，并配備防塵門、防靜電地墊等設施，以保證車間內的無塵環境。
施工流程與人員管理：在施工過程中，要嚴格控制施工流程，確保無塵車間的潔凈度。施工現場應進行全面清潔，清除垃圾和雜物。施工人員應經過嚴格培訓，并遵守施工規范，以減少對車間環境的影響。同時，對進出無塵車間的人員應進行嚴格管理，防止因人員活動導致的潔凈度下降。
這些施工要求共同構成了半導體無塵車間建設的基本框架，確保車間能夠滿足半導體生產的特殊需求，提供穩定、安全、高效的生產環境。
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