1、設計標準
晶圓潔凈車間的設計需要根據具體的生產工藝和設備來進行。設計時需要考慮空氣流動、溫度、濕度、照明、靜電、防塵、通風等因素。
2、潔凈度標準
晶圓潔凈車間的潔凈度指的是空氣中的顆粒物濃度，一般要求在ISO14644-1標準的5級別以上。同時，車間內還要進行定期的潔凈度檢測和驗證。
3、空間布局
晶圓潔凈車間需要被分為幾個區域，例如：進出口區、凈化區、設備操作區、物料存放區、人員更衣室等。這些區域的布局要合理，符合工藝流程，并且保證不同區域的潔凈度不會相互污染。
4、空氣過濾系統
確保車間空氣中的微粒和有害物質不會影響生產。因此，晶圓潔凈車間需要安裝高效過濾系統。通常，車間內的空氣需要通過一系列的過濾器，包括初效、中效、高效和超高效過濾器，最終達到潔凈度要求。
5、設備選型
合適的設備對于晶圓潔凈車間的建設至關重要。設備需要符合車間的潔凈度要求，并且要能夠適應工藝流程。此外，設備的維護保養也需要考慮到。
6、人員培訓
建設晶圓潔凈車間不僅是設備和布局的問題，也涉及到人員的培訓。對于車間人員來說，他們需要了解車間的潔凈度標準，掌握操作流程，以及如何維護潔凈環境。
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